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Z轴起落台OMZH1A
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技术规格
客户案例
项目描述

Z轴起落台,使用压电陶瓷作为活动促动元件,能够在数百毫米领域内实现亚纳米级此外最幼步长,从而解决了传统纳米台行程幼而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进造作业生物医疗行业、光学、通讯等行业有宽泛利用。
 

OMTOOLS提供的压电驱动起落台拥有活动无需光滑,真空兼容,拥有步进和扫描双工作模式,在宏观行程领域内达到亚纳米分辨率的定位。

 

  • 结构紧凑、高刚性。
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统。
  • 压电陶瓷推进器拥有超长使用寿命。
  • 带位移传感器,提供地位和速度关环节造。
关键词:
压电起落台
技术规格

产品型号

OMZH1A

表形尺寸(长宽高)

115.0x70.0x44.0(mm)

台面平面度

10(um)

总质量

670(g)

机身段质

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

导线

屏蔽线、铜线

活动领域

±5 mm

起落速度

0.5mm/s

沉复定位精度

±500nm(典型值)

传感器分辨率

1、4、20、100、500、1000nm

 地位传感器

光栅

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