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线性压电位移台EPSM100A
项目描述
技术规格
客户案例
项目描述

 线性压电位移台,使用压电陶瓷作为活动促动元件,能够在数百毫米领域内实现亚纳米级此外最幼步长,从而解决了传统纳米台行程幼而微米电动台精度不高的问题,在科研市场、半导体市场、先进造作业生物医疗行业、光学、通讯等行业有宽泛利用 。
OMTOOLS提供的压电驱动位移台拥有活动无需光滑,真空兼容,拥有步进和扫描双工作模式,在宏观行程领域内达到亚纳米分辨率的定位 。
 

  • 结构紧凑、高刚性 ;
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统 ;
  • 压电陶瓷推进器拥有超长使用寿命 ;
  • 带位移传感器,提供地位和速度关环节造 ;
关键词:
压电驱动位移台
技术规格

产品型号

EPSM100A

表形尺寸(长宽高)

138.0x138.0x32.0(mm)

台面平面度

10(um)

总质量

1100(g)

机身段质

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

导线

屏蔽线、铜线

X轴行程

±50mm

Y轴行程

±50mm

最大速度

2mm/s

细调步进

1nm

细调领域

2500nm

沉复定位精度

±200nm(典型值)高精度±75nm

传感器分辨率

1、4、20、100、500、1000nm

 地位传感器

光栅

装置方向

水平装置

垂直活动方向负载

40N

沿活动方向负载

2N

操作温度

0~60

操作湿度

温度达到40时,相对湿度60%(非冷凝)

真空兼容性

提供真空版本

节造类型

开环/关环

最大驱动电压

80V

装置要求

装置面平面度0.01mm

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